近日，中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院（以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)計(jì)量院”）(超)純水電導(dǎo)率量值的校準(zhǔn)與測(cè)量能力（CMC）通過(guò)國(guó)際評(píng)審，相關(guān)結(jié)果在國(guó)際計(jì)量局（BIPM）官網(wǎng)正式公布。此次公布標(biāo)志著中國(guó)計(jì)量院(超)純水電導(dǎo)率量值CMC首次獲得國(guó)際互認(rèn)，保證了我國(guó)(超)純水電導(dǎo)率量值的統(tǒng)一可靠。

(超)純水電導(dǎo)率測(cè)量校準(zhǔn)裝置示意圖及國(guó)際輔助比對(duì)結(jié)果

電導(dǎo)率是國(guó)際單位制導(dǎo)出單位。電導(dǎo)率以溯源至國(guó)際單位制基本單位的電導(dǎo)率計(jì)量基準(zhǔn)裝置復(fù)現(xiàn)的量值為源頭，通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)等實(shí)現(xiàn)量值傳遞。CMC是米制公約國(guó)國(guó)際互認(rèn)的校準(zhǔn)與測(cè)量能力。國(guó)際計(jì)量委員會(huì)（CIPM）通過(guò)組織關(guān)鍵國(guó)際比對(duì)和國(guó)際同行評(píng)審量化各成員單位的校準(zhǔn)與測(cè)量能力，從而保證各成員單位CMC數(shù)據(jù)庫(kù)科學(xué)性、有效性和國(guó)際可比性，進(jìn)而確保校準(zhǔn)與測(cè)量證書(shū)國(guó)際互認(rèn)的有效性。

據(jù)悉，中國(guó)計(jì)量院是國(guó)際上少數(shù)幾家具備研制(超)純水電導(dǎo)率測(cè)量校準(zhǔn)裝置能力的國(guó)家計(jì)量院之一。中國(guó)計(jì)量院經(jīng)過(guò)多年研究，自主設(shè)計(jì)了基于絕對(duì)測(cè)量方法的雙內(nèi)電極同軸圓筒電導(dǎo)池，全面提升(超)純水電導(dǎo)率國(guó)家測(cè)量校準(zhǔn)能力水平。

2018年至2020年，中國(guó)計(jì)量院參加由德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院主導(dǎo)的Euramet.QM-S12國(guó)際輔助比對(duì)，各比對(duì)量值點(diǎn)均獲得國(guó)際等效一致。量值范圍0.055 uS/cm ~ 5 uS/cm、擴(kuò)展不確定度0.2% ~ 1.1%，比對(duì)報(bào)告發(fā)表在國(guó)際計(jì)量領(lǐng)域權(quán)威期刊METROLOGIA。2019年和2024年，(超)純水電導(dǎo)率測(cè)量校準(zhǔn)裝置的技術(shù)能力均順利通過(guò)國(guó)際同行評(píng)審。2024年，(超)純水電導(dǎo)率量值的CMC經(jīng)國(guó)際計(jì)量組織評(píng)審后獲得國(guó)際互認(rèn)，并于9月30日在BIPM官網(wǎng)公布。

目前，全球獲得超純水電導(dǎo)率量值（0.055 uS/cm）CMC國(guó)際互認(rèn)的國(guó)家計(jì)量院僅有4家，包括中國(guó)計(jì)量院、德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院、丹麥國(guó)家計(jì)量院和捷克國(guó)家計(jì)量院。此次發(fā)布可為我國(guó)電子、醫(yī)藥、食品、發(fā)電等領(lǐng)域(超)純水電導(dǎo)率的精密測(cè)控提供關(guān)鍵計(jì)量技術(shù)支撐，助力我國(guó)半導(dǎo)體器件、集成電路、電子器件和醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。（文/圖：王海、宋小平）